製品案内
Product informationスパッタリング装置 ES-830
概要
本システムは、300mm×400mmの大面積用スパッタリング装置です。
8インチのスパッタ源による、3元のスパッタリングが可能です。
ターゲット、基板間の間隔は連続して可変調整できます。
製品仕様
■ スパッタ室
1. 到達圧力 : 10⁻⁵Pa台
2. 基板寸法 : 300mm×400mm
3. 基板温度 : Max 700℃
4. スパッタ源
5. ターゲット寸法 φ8インチ
6. ターゲット数 3基
7. 排気系 TMP
8. 成膜ソフト