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01_MBE装置

MBE / 水冷MBE

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02_スパッタリング装置

CVD+マルチターゲットスパッタ複合装置 / 超高真空マルチターゲットスパッタリング / スパッタ装置

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03_真空蒸着装置

真空蒸着装置 / 簡易薄膜コーティング装置

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04_EB蒸着装置

EB蒸着装置 / 電子線MBE

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05_ALD装置

ALD装置

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06_PXP製膜装置

高品質PXP成膜装置(パラキシリレンポリマー)パリレン

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07_CVD装置

CVD / プラズマCVD

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08_有機蒸着装置

有機薄膜作製装置 / 有機蒸着装置 / 有機EL蒸着装置

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09_接合装置

Bonding systems

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10_特注装置

ロールコーター / カーボンナノチューブ合成装置 / Laser Ablasion / RIE / マルチチャンバーシステム / UHV評価封止装置

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11_電子顕微鏡周辺装置

イオンコータ / 凍結乾燥器 / イオンミリング装置

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EB蒸着・スパッタリング・接合などの各種受託試料作成を承っております。 詳しくはこちらからご相談ください。

スパッタリング装置「ESシリーズカタログ」
・スパッタリング装置
「ESシリーズカタログ」
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