製品案内
Product informationスパッタリング装置 ES-610
![](https://www.1974eiko.co.jp/wpeiko/wp-content/uploads/2019/12/ES-610-194x300.jpg)
概要
6インチのスパッタ源を1元装着しており、大きなサイズの基板に最適です。
成膜ソフト(オプション)を付けることにより、更に作業の効率化を図ることが可能です。
製品仕様
■ スパッタチャンバー
1.到達圧力 4×10⁻⁵Pa以下
2.チャンバーサイズφ406×600H
3.基板寸法 6インチ(冷却・回転機構付)
4.スパッタ源 6インチ
5.排気系 TMP500L/sec R.P250L/min
■ オプション
6.成膜ソフト / 膜厚モニター