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製品案内

Product information

スパッタリング装置   ES-610

概要

6インチのスパッタ源を1元装着しており、大きなサイズの基板に最適です。
成膜ソフト(オプション)を付けることにより、更に作業の効率化を図ることが可能です。

製品仕様

■ スパッタチャンバー
1.到達圧力 4×10⁻⁵Pa以下
2.チャンバーサイズφ406×600H
3.基板寸法 6インチ(冷却・回転機構付)
4.スパッタ源 6インチ
5.排気系 TMP500L/sec  R.P250L/min
■ オプション
6.成膜ソフト / 膜厚モニター


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