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製品案内

Product information

EB蒸着装置   EB-350

概要

本装置は、蒸着室、ロードロック室の2室で構成されています。
3kW5連EBガンを付属しておりますので、多種の材料を連続して蒸着させることができます。
EBガンはUHV対応ですので、超高真空下での蒸着が可能です。

製品仕様

■ 蒸着チャンバー
1.到達圧力 1×10⁻⁷Pa以下
2.チャンバーサイズ φ406×600程度
3.基板ホルダー サイズ : φ5インチ
加熱温度 : 最高 300℃ 冷却機構付
4.蒸発源 3kW5連型EBガンルツボ容量 : 2cc×5
5.膜厚モニター
6.排気系 TMP
■ LLチャンバー
7.到達圧力 6.5×10⁻⁶Pa以下


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