製品案内

本システムは、ロールフィルムに多元のスパッタ源を用いて、多種の材料の薄膜が連続的に成膜できる装置です。

成膜時の温度は-30℃～80℃まで可変できます。

酸化物・窒化物等の為に、可能な限りガス分離可能な構造を採用した装置です。

■ ロール室

１. 到達圧力 10⁻⁵Pa

２. ロール径 φ200mm （巻出し・巻取り部共通）

■ スパッタ室

３. 到達圧力 10⁻⁵Pa

４. スパッタ源 ターゲットサイズ：250mm×80mm

５. 成膜ロール部寸法 φ380×200

６. 成膜ロール部温度 -30℃～80℃