製品案内

アルゴンイオンを試料に当てて試料表面を削り透過電子顕微鏡（TEM）観察用試料を作製する装置です。
0°～10°まで、イオンビームの入射角を変えることができます。
ＣＣＤカメラの映像をパソコン上に表示することができ、試料の確認が簡単にできます。

１．イオンガン：ペニングイオンガン×2式
２．加速電圧：0～5kV
３．ミリング角度：±10°
４．サンプルサイズ：φ3mm
５．試料回転：1～6rpm
６．到達圧力：6.5×10⁻⁴Pa以下
７．寸法：610mm(W)×620mm(D)×655mm(H)
８．重量：80Kg(PC及びドライポンプを除く）
９．入力電源：AC100V,10A