製品案内
Product informationイオンコーター IB-2/IB-3
概要
この装置はTEM/SEMの試料作製用装置として、手軽に簡単に操作することができます。
1.33Pa程度の低真空でグローチャージを起こさせて残留ガスをイオン化し、このガスイオンのエネルギーを利用して金属をスパッタさせたり、試料のクリーニング・或いはエッチングを行なう装置です。
製品仕様
１. 上部電極（ターゲット） :φ50mm （円形）
２. 下部電極 :φ52mm
３. 試料台冷却 水冷式
４. ターゲット・試料台間隔 20mm、35mm
５. イオン化電圧 : D.C. 0～1400V
６. イオン化電流 : 10ｍA（Max）電流計付
７. コーティング用電極（オプション） Au / Pt-Pd / Ag
８. 真空ポンプ R.P20L/min （外置き）
