製品案内

１．装置と電源が一体型でコンパクトです。

２．前扉方式なので操作性に優れています。

３．他チャンバーとの接続可能で、拡張性があります。

１．到達圧力 10⁻⁵Pa台
２．基板ホルダー □100mm基板対応
３．ボート蒸発源 6式
４．ボート蒸発源用シャッター 手動、回転式
５．膜厚モニター 2元表示