製品案内

ZnSe系・GaN系を問わず、青色LED・LDの研究開発の為、経済的で効率の良い実験装置として開発されたMBE装置です。

ファイバースコープを基板下面に装着することにより、カソードルミネッセンススペクトラムをその場で、且つ室温で観察できるようになりました。

■ 成膜室

１．到達圧力 10⁻⁸Pa

２．基板寸法 2インチ

３．基板加熱温度 1000℃

４．ヒーター材質 Taヒーター

５．排気系 TMP250L/sec　　R.P162L/min

■ ロードロック室

６．到達圧力 10⁻⁴Pa

７．排気系 TMP60L/sec　　R.P90L/min

■ オプション

８．RHEED　/　ラジカル源　/　セル　/　EBガン　/　スパッタ源