english

製品案内

Product information

MBE装置   EW-100

概要

液体窒素を使用せず、しかも自動ベーキングシステムと操作のCPU化を図った全く新しいコンセプトのもとに開発された装置です。

熱源をチャンバー内に配し、内側から加熱することにより効果の高いベーキングができる構造です。

夕方作業完了後スイッチボタンを押すだけで、翌朝には再び超高真空に回復し、すぐに作業にとりかかることができます。

製品仕様

■ 成膜室

1.到達圧力 10⁻⁸Pa

2.基板寸法 2インチ

3.基板加熱温度 1000℃

4.ヒーター材質 ランプヒーター / Taヒーター

5.排気系 TMP1400L/sec  R.P345L/min

■ ロードロック室

6.到達圧力 10⁻⁵Pa

7.排気系 TMP210L/sec  R.P162L/min

■ オプション

 


製品カタログダウンロード
pagetop