製品案内
Product informationインライン装置 EIL-300
概要
１．高品質な成膜を実現し、高い変換効率の太陽電池を連続的に作製できるように2箇所の成膜部を有しています。
２．Kセルの温度調節によって、分子線量を精密に制御することができます。
３．成膜室の真空を破らずに、300mm角の試料を導入～成膜～取出しまでの工程を連続して行うことができます。
製品仕様
１. 到達圧力 10⁻⁵Pa台
２. チャンバーサイズ 2160mm×800mm×1000mm
３. 基板サイズ 300mm角×1枚 又は100mm角 × 9枚（トレーに収納）
４. 基板加熱機構 ランプ加熱 800℃max
５. ラインセル 最大加熱温度： 1300℃
６. ルツボ容量 300cc / 600cc
