製品案内
Product informationＲＩＥ ERI-2500
概要
加工精度が高く、微細加工が可能なエッチング装置です。
ロードロック室を標準装備しているため、エッチング室は大気に晒されることがなく、塩素系ガスを用いたエッチング時の再現性・均一性が良好です。
製品仕様
■ スパッタチャンバー
１．到達圧力 5×10⁻⁶Pa
２．チャンバーサイズφ253×300H程度
３．基板寸法 2インチ
４．基板加熱温度 800℃MAX ランプヒーター
５．排気系 TMP210L/sec R.P162L/min
■ ロードロック室
６．到達圧力 10⁻⁴Pa
７．排気系 TMP60L/sec R.P90L/min
