製品案内
component informationバルブドラジカルセル EVR-2000
概要
ワイドギャップCIS系太陽電池用に新たなSe用蒸発源が登場しました。従来の蒸着源に比べSeの蒸発量を1/10程度に低減できます。
又、蒸発源は実験用から量産機まで対応できるいろいろな機種が揃っています。
製品仕様
1.構成 原料部、バルブ部、ガイドパイプ部、クラッキング部
2.原料室容量 2000cc
3.加熱温度（各部独立制御）
原料部 Max 500℃
バルブ部 Max 500℃
ガイドパイプ部 Max 500℃
4.シャッター 自動シャッター
5.取付フランジ φ203ICF
6.取付フランジ φ203ICF
7.RF電源 500W（オートマッチャー付）
8.MFC
