製品案内
component informationシャッター機構 EWS-200
![](https://www.1974eiko.co.jp/wpeiko/wp-content/uploads/2019/12/EWS-200-300x225.jpg)
概要
チャンバー側面から基板直下にシャッターを出し入れ出来ます。
直線移動方式を採用しています。
製品仕様
1.ストローク:200mm
2.位置精度:0.1mm
3.パルスモーターによる自動制御
4.駆動速度可変
5.インターロック
チャンバー側面から基板直下にシャッターを出し入れ出来ます。
直線移動方式を採用しています。
1.ストローク:200mm
2.位置精度:0.1mm
3.パルスモーターによる自動制御
4.駆動速度可変
5.インターロック