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製品案内

component information

L型RHEED電子銃   MB-1000L

概要

超高真空用としてのベーカブル機構を完備しており、高圧ケーブルを抜くだけで電子銃は200℃のベーキング温度に耐えられます。
電子銃はピアス型でセルフバイアス方式を採用し、明るいスポット/安定した高い分解能指数のパターンが得られます。 蛍光板に鉛ガラスを使用し、完璧な漏洩X線対策が施されています。
L型RHEEDの特長は、狭い場所でも取り付けが可能な形状になっております。

製品仕様

1. 加速電圧 30kV
2. フィラメント形式 ヘアピン型
3. 電子ビーム径 φ90μm (基板面と蛍光板間の距離が400mmの場合)
4. 耐真空度 10⁻⁹Pa
5. ベーキング温度 200℃
6. 取付けフランジ φ114ICF


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