製品案内

１．取付けフランジは152ICFと203ICFの2種類で、超高真空対応です。
２．コンダクタンスが大きく、TMPとの組合せに最適です。
３．液体窒素容器はSUS316L材を使用していますので、熱サイクルでの劣化がありません。
４．冷却面積が大きく、水分除去や有機蒸着装置の排気系に最適です。

ECT-152
１．取付けフランジ　152ICF
２．液体窒素容器容量　3.5L
３．トラップ寸法　外形φ300全長212ｍｍ
ECT-203
１．取付けフランジ　203ICF
２．液体窒素容器容量　4.3L
３．トラップ寸法　外形φ350、全長215ｍｍ

・液体窒素注入口寸法　φ12.7
・材質ﾄﾗｯﾌﾟｹｰｽ　SUS304、　液体窒素トラップ　SUS316L