english

製品案内

component information

直線導入機   直線導入機

概要

製品仕様

1.超高真空対応で、200℃の高温ベーキングも可能です。
2.0.1mmの高精度で移動できます。
3.ストロークは25mm、50mmの2種類です。
4.取付けフランジは、φ34ICF、φ70ICFに対応しています。


pagetop