製品案内

１．超高真空対応で、200℃の高温ベーキングも可能です。
２．0.1ｍｍの高精度で移動できます。
３．ストロークは25ｍｍ、50ｍｍの2種類です。
４．取付けフランジは、φ34ICF、φ70ICFに対応しています。