製品案内

1.基板クリーニングに最適です。
2.電子衝撃型イオン源で、大きなイオン電流密度が得られます。
3.アインツェルレンズ採用によりビーム径が可変でき、高い電流値が得られます。
4.イオン化室は高融点材料を使用し、不純物の混入がありません。
5.高圧電源には安定化電源を採用しており、イオンビームの変動がありません。
6.取付はφ70ICFでベーキング可能な超高真空タイプです。

1.加速電圧（HV）・・・0～3kV
2.イオン化電流・・・・・・80μA（W，D60ｍｍ）
3.ビーム径・・・・・・～20ｍｍ
4.フィラメント電流・・・0～20V　5A
5.取付フランジ・・・・・φ70ICF