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製品案内

component information

消耗品   ターゲット

Eiko

概要

スパッタ装置に使用するターゲットです。
材質
金属、酸化物、ホウ化物、炭化物、フッ化物、窒化物、シリサイド、等

純度:99.9%から99.9999%

製品仕様

No. 品名 直径 厚み 純度
1. Ti ターゲット 3インチ 5 mm 99.995%
2. Ti ターゲット 80 mm 5 mm 99.995%
3. Al ターゲット 2インチ 5 mm 99.99%
4. Cuターゲット 80 mm 5 mm 99.99%

 


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