製品案内
component information消耗品 ターゲット
概要
スパッタ装置に使用するターゲットです。
材質
金属、酸化物、ホウ化物、炭化物、フッ化物、窒化物、シリサイド、等
純度：99.9%から99.9999%
製品仕様
| No. | 品名 | 直径 | 厚み | 純度 |
| 1. | Ti ターゲット | 3インチ | 5 mm | 99.995% |
| 2. | Ti ターゲット | 80 mm | 5 mm | 99.995% |
| 3. | Al ターゲット | 2インチ | 5 mm | 99.99% |
| 4. | Cuターゲット | 80 mm | 5 mm | 99.99% |
