製品案内

component information

回転導入機・直線導入機 MB-8600/MB-8700

回転運動をチャンバー内に非接続方式で伝導するデバイスです。
超高真空用に開発されたもので。手動式とエア駆動式、電動式の３種類があります。
回転軸に過負荷がかかった時空回りし、機器の損傷を妨げる構造となっています。

製品仕様

型式	MB-8600	MB- 8600A	MB-8600M	MB-8700	MB-8700A	MB-8700H
取付フランジ	φ34 mm CF	φ34 mm CF	φ34 mm CF	φ70 mm CF	φ70 mm CF	φ70 mm CF
駆動方式	手動	エア駆動	電動	手動	エア駆動	電動
回転角度	360^o	180^o	360^o	360^o	180^o	360^o
駆動軸径	6 mm	6 mm	6 mm	6 mm	6 mm	6 mm
最大トルク	0.5 N・.m	0.5 N・m	0.5 N・m	0.5 N・m	0.5 N・m	0.5 N・m
耐真空度	10^-9 Pa	10^-9 Pa	10^-9 Pa	10^-9 Pa	10^-9 Pa	10^-9 Pa
耐ベーキング温度 (本体)	200^oC	200^oC	200^oC	200^oC	200^oC	200^oC
耐ベーキング温度 (駆動部)	–	50^oC	50^oC	–	50^oC	50^oC