製品案内
component informationスパッタガン ES-3000 ES-3000U ES-4000 ES-4000U ES-6000 ES-6000U
概要
本スパッタ源は、高融点金属や複雑な組成の合金の薄膜作製に最適です。
ターゲットに熱ダメージを与えないよう工夫されておりますので、いろいろな種類のターゲット材料が使用できます。
製品仕様
ES-3000 ES-3000U ES-4000 ES-4000U ES-6000 ES-6000U
１. ターゲット寸法
3インチ 4インチ 6インチ
２. 取付けフランジ φ152ICF φ203ICF φ253ICF
３. シャッター 無/手動の何れか選択 無/手動の何れか選択 無/手動の何れか選択
高真空 UHV仕様 高真空 UHV仕様 高真空 UHV仕様
