製品案内
component informationマニピュレーター MB-4600K
概要
マニピュレータはご使用チャンバーにより軸の寸法が異なりますので、指定寸法にて製作致します。
又ご要望により、加熱・冷却等様々な機能を持つマニピュレータも製作致します。
製品仕様
１. 基板寸法 φ6インチ
２. 基板温度
Ta ： 1000℃Max （基板表面）/ランプ：800℃Max(基板表面)
X軸 ±5mm Y軸 ±5mm Z軸 ±10mm
面内回転 360°(モーター駆動)
３. 取付けフランジ φ406ICF トップエントリー型
４. シャッター 手動 エア駆動 の何れかより選択
