製品案内
component informationマニピュレーター MB-4300K
概要
マニピュレータはご使用チャンバーにより軸の寸法が異なりますので、指定寸法にて製作致します。
又ご要望により、加熱・冷却等様々な機能を持つマニピュレータも製作致します。
製品仕様
1. 基板寸法 φ3インチ
2. 基板温度 Ta : 1000℃Max (基板表面)/ランプ:800℃Max(基板表面)
3. 可動範囲 X軸 ±5mm Y軸 ±5mm Z軸 ±10mm
傾斜 3°(トップエントリー型) / ±105°(サイドエントリー型)
面内回転 360° (モーター駆動)
4. 取付けフランジ φ253ICF トップエントリー型 / サイドエントリー型
5. シャッター 手動 エア駆動 の何れかより選択