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製品案内

component information

マニピュレータ   MB-4200K

概要

マニピュレータはご使用チャンバーにより軸の寸法が異なりますので、指定寸法にて製作致します。
又ご要望により、加熱・冷却等様々な機能を持つマニピュレータも製作致します。

製品仕様

1. 基板寸法φ2インチ
2. 基板温度 Ta : 1000℃Max (基板表面)/ ランプ:800℃Max(基板表面)
3. 可動範囲 X軸  ±5mm Y軸  ±5mm Z軸  ±10mm 
  傾斜  ±3°(トップエントリー型) / ±105°(サイドエントリー型)
4. 取付けフランジ φ203ICF  トップエントリー型 / サイドエントリー型
5. シャッター 手動  エア駆動 の何れかより選択


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