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製品案内

component information

ラジカル源   ER-1000

概要

放電室が大きく、しかも無電極であるため、長時間プラズマ放電を持続させても汚れが全くなく、安定したラジカルビームが供給できます。
ファイバースコープ/分光器を装備できますので、放電中の光強度スペクトルを常時CRT上で監視しつつ、ビーム量の調整操作を行なえます。

製品仕様

1. ラジカルフラックス強度 10E15atoms/cm2・sec以上
2. RF出力 ~300W(標準タイプ) ~500w(高出力タイプ)
3. イオントラッパー電圧 最大600V
4. マスフローコントローラー 10sccm (オプション)
5. 移動機構 ±60mm (オプション)
6. 取付けフランジ φ152ICF (標準)  φ70ICF / φ114ICF にも対応


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