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従来のセルでSiを蒸発させようとすると、最高加熱温度が1300℃であるためRATEが取れませんでしたが、Siセルは1600℃まで加熱できるため安定したRATEが得られます。

１. 最高加熱温度 1600℃　（常用1500℃）
２. ヒーター材質 グラファイト
３. ルツボ容量 5cc
４. 熱電対 WRe (5-26)
５. 取付けフランジ φ114ICF
６. シャッター エア駆動