製品案内

ここでは私たちの製品をご紹介しています。
ここに無い物でも、お客様と協力して開発/生産いたしておりますので、まずはご相談ください。

EB蒸着/スパッタリング/接合等、各種受託試料作成を承っております。
詳しくはこちらからご相談ください。

各製品の製品カタログ(PDF)は、こちらからもダウンロードいただけます。
 ・MBE:  EWシリーズカタログ
 ・スパッタリング装置:  ESシリーズカタログ
 ・コンポーネンツ:  コンポーネントカタログ
 ・電子顕微鏡周辺装置:  電子顕微鏡試料作成装置カタログ

  • MBE

    MBE 水冷MBE / MBE
  • 真空蒸着装置

    真空蒸着装置 真空蒸着装置 / 簡易薄膜コーティング装置 /高品質PXP成膜装置(パラキシリレンポリマー)
  • EB蒸着装置

    EB蒸着装置 EB蒸着装置 / 電子線MBE
  • スパッタリング装置

    スパッタリング装置 CVD+マルチターゲットスパッタ複合装置 / 超高真空マルチターゲットスパッタリング / スパッタ装置
  • 有機蒸着装置

    有機蒸着装置 有機薄膜作製装置 / 有機蒸着装置 / 有機EL蒸着装置
  • 特注装置

    特注装置 ロールコーター / カーボンナノチューブ合成装置 / Laser Ablasion / RIE / マルチチャンバーシステム / UHV評価封止装置
  • コンポーネンツ

    コンポーネンツ RHEED 高速反射電子回折装置 / 背面LEED 低速電子回折装置 / エフュージョンセル/ 高温セル / Siセル / 低温セル / バルブドセル / イオン化セル / ガスセル(MOMBE用) / 横型セル / 多元セル / ラインセル / EBガン / スパッタガン / ラジカル源 / マニピュレータ / 熱電対移動機構 / ビームフラックスモニター /移動機構 / 膜厚モニター / トランスファーロッド
  • 電子顕微鏡周辺装置

    電子顕微鏡周辺装置 イオンコーター / 凍結乾燥器
  • CVD装置

    CVD装置 CVD / プラズマCVD
  • 接合装置

    接合装置 BONDING SYSTEM