ここでは私たちの製品をご紹介しています。
ここに無い物でも、お客様と協力して開発/生産いたしておりますので、まずはご相談ください。
ＥＢ蒸着/スパッタリング/接合等、各種受託試料作成を承っております。
詳しくはこちらからご相談ください。
MBE
水冷MBE / MBE
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真空蒸着装置
真空蒸着装置 / 簡易薄膜コーティング装置 /高品質PXP成膜装置（パラキシリレンポリマー）
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EB蒸着装置
EB蒸着装置 / 電子線MBE
スパッタリング装置
CVD+マルチターゲットスパッタ複合装置 / 超高真空マルチターゲットスパッタリング / スパッタ装置 有機蒸着装置
有機薄膜作製装置 / 有機蒸着装置 / 有機EL蒸着装置
特注
ロールコーター / カーボンナノチューブ合成装置 / Laser Ablasion / RIE / マルチチャンバーシステム / UHV評価封止装置
装置コンポーネンツ
RHEED 高速反射電子回折装置 / 背面LEED 低速電子回折装置 / エフュージョンセル/ 高温セル / Siセル / 低温セル / バルブドセル / イオン化セル / ガスセル(MOMBE用) / 横型セル / 多元セル / ラインセル / EBガン / スパッタガン / ラジカル源 / マニピュレータ / 熱電対移動機構 / ビームフラックスモニター /移動機構 / 膜厚モニター / トランスファーロッド
電子顕微鏡周辺装置
イオンコーター / 凍結乾燥器
CVD装置
CVD / プラズマCVD
接合装置
BONDING SYSTEM
