製品案内

CVD装置

製品分類 製品外観 製品名 詳細リンク
CVD+マルチターゲットスパッタ複合装置 ES-230 ES-230 詳細
CVD *新製品* ALD装置 EALD-4 *新製品* ALD装置 EALD-4 詳細
プラズマCVD *新製品*大面積対応プラズマCVD EPD-640R *新製品*大面積対応プラズマCVD EPD-640R 詳細
CVD *新製品*プラズマALD装置 EALD-P-4 *新製品*プラズマALD装置 EALD-P-4 詳細