コンポーネンツ
components
01_セル
イオン化セル / 多元セル / エフュージョンセル / 高温セル / Ｓｉセル / クリスタルセル / バルブドセル
02_EBガン
ＥＢガン
03_スパッタガン
スパッタガン
04_RHEED装置
Reflection High Energy Electron Diffraction
05_マニピュレーター・移動機構
マニピュレーター・BFM
06_膜厚センサー・モニター
膜厚センサー・モニター
07_ラジカル源
ラジカル源
08_イオンガン
イオンガン
09_トランスファーロッド
トランスファーロッド
11_直線導入機・回転導入機
直線導入機・回転導入機
12_ソフトウエア・コントローラ
ソフトウエア・コントローラ
13_消耗品
消耗品
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