2011/11/17　コンポーネントにウェッジ膜作製用シャッターを追加いたしました。
2011/11/16　コンポーネントにバルブドラジカルセルEVR-500とEVR-2000を追加いたしました
2011/07/26　製品案内コンポーネンツにRHEED ＭＢ1000Ｌを追加致しました。
2011/04/01　被災された方へのお見舞
2010/10/19　コンポーネントに耐酸素加熱マニピュレータを追加いたしました