製品案内

EG-6

製品種別:真空蒸着装置  製品種別詳細:真空蒸着装置

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概要   1.装置と電源が一体型でコンパクトです。
  2.前扉方式なので操作性に優れています。
  3.他チャンバーとの接続可能で、拡張性があります。
仕様   1.到達圧力・・・・・・・・・・・・・・・10-5Pa台
  2.基板ホルダー・・・・・・・・・・・・・・・□100mm基板対応
  3.ボート蒸発源・・・・・・・・・・・・・6式
  4.ボート蒸発源用シャッター・・・・・・・・・・・・手動、回転式
  5.膜厚モニター・・・・・・・・・・・・2元表示


詳細な情報についてはこちらよりご相談ください。

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