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インライン装置 EIL-300

製品種別:特注装置  製品種別詳細:真空蒸着装置

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概要 1.高品質な成膜を実現し、高い変換効率の太陽電池を連続的に作製できるように2箇所の成膜部を有しています。
2.Kセルの温度調節によって、分子線量を精密に制御することができます。
3.成膜室の真空を破らずに、300mm角の試料を導入〜成膜〜取出しまでの工程を連続して行うことができます。
仕様 到達圧力 10-5Pa台
チャンバーサイズ 2160mm×800mm×1000mm
基板サイズ 300mm角×1枚 又は100mm角×9枚(トレーに収納)
基板加熱機構 ランプ加熱 800℃max
ラインセル 最大加熱温度: 1300℃
ルツボ容量 300cc / 600cc

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