インライン装置 EIL-300
| 製品種別：特注装置 製品種別詳細：真空蒸着装置 |
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| 概要 | １．高品質な成膜を実現し、高い変換効率の太陽電池を連続的に作製できるように2箇所の成膜部を有しています。 ２．Kセルの温度調節によって、分子線量を精密に制御することができます。 ３．成膜室の真空を破らずに、300mm角の試料を導入〜成膜〜取出しまでの工程を連続して行うことができます。 |
| 仕様 | 到達圧力 10-5Pa台 チャンバーサイズ 2160mm×800mm×1000mm 基板サイズ 300mm角×1枚 又は100mm角×9枚（トレーに収納） 基板加熱機構 ランプ加熱 800℃max ラインセル 最大加熱温度： 1300℃ ルツボ容量 300ｃｃ / 600ｃｃ |
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