製品案内

IB-5

製品種別:電子顕微鏡周辺装置  製品種別詳細:イオンコーター

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概要 この装置は高分解能SEM用として、粒子の細かなPtやPt-Pdのスパッタコーティングが可能なばかりでなく、金属やセラミック、生体硬組織等のイオンエッチングが効率よく行なえます。
電極は上下ともドーナツ型をしていて、安定な放電を維持させる距離に固定してあり、試料台はこの電極間を上下可能にして試料とターゲット間隔が自由に選択できます。
仕様 ■ 上部電極(ターゲット): φ45mm - φ70mm (ドーナツ形)
■ 下部電極 : φ50mm - φ70mm (ドーナツ形)
■ 試料台冷却 水冷式
■ ターゲット・試料台間隔 20mm、35mm、45mm、55mm の4段可変
■ イオン化電圧 : D.C. 0〜3000V
■ イオン化電流 : 10mA(Max)電流計付
■ コーティング用電極(オプション) Au / Pt-Pd / Pt
■ 真空ポンプ R.P50L/min (内臓)

詳細な情報についてはこちらよりご相談ください。

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