製品案内

IB-2/IB-3

製品種別:電子顕微鏡周辺装置  製品種別詳細:イオンコーター

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概要 この装置はTEM/SEMの試料作製用装置として、手軽に簡単に操作することができます。
1.33Pa程度の低真空でグローチャージを起こさせて残留ガスをイオン化し、このガスイオンのエネルギーを利用して金属をスパッタさせたり、試料のクリーニング・或いはエッチングを行なう装置です。
仕様 ■ 上部電極(ターゲット) :φ50mm (円形)
■ 下部電極 :φ52mm
■ 試料台冷却 水冷式
■ ターゲット・試料台間隔 20mm、35mm
■ イオン化電圧 : D.C. 0〜1400V
■ イオン化電流 : 10mA(Max)電流計付
■ コーティング用電極(オプション) Au / Pt-Pd / Ag
■ 真空ポンプ R.P20L/min (外置き)

詳細な情報についてはこちらよりご相談ください。

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