製品案内

MB-4600K

製品種別:コンポーネンツ  製品種別詳細:マニピュレータ

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概要 マニピュレータはご使用チャンバーにより軸の寸法が異なりますので、指定寸法にて製作致します。
又ご要望により、加熱・冷却等様々な機能を持つマニピュレータも製作致します。
仕様 ■ 基板寸法 φ6インチ
■ 基板温度
 Ta : 1000℃Max (基板表面)/ランプ:800℃Max(基板表面)
 X軸 ±5mm
 Y軸 ±5mm
 Z軸 ±10mm
 面内回転 360°(モーター駆動)
■ 取付けフランジ φ406ICF  トップエントリー型
■ シャッター 手動  エア駆動 の何れかより選択

詳細な情報についてはこちらよりご相談ください。

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