製品案内

MB-4300K

製品種別:コンポーネンツ  製品種別詳細:マニピュレータ

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概要 マニピュレータはご使用チャンバーにより軸の寸法が異なりますので、指定寸法にて製作致します。
又ご要望により、加熱・冷却等様々な機能を持つマニピュレータも製作致します。
仕様 ■ 基板寸法 φ3インチ
■ 基板温度 Ta : 1000℃Max (基板表面)/ランプ:800℃Max(基板表面)
■ 可動範囲
 X軸  ±5mm
 Y軸  ±5mm
 Z軸  ±10mm 
 傾斜  3°(トップエントリー型) / ±105°(サイドエントリー型)
 面内回転  360°  (モーター駆動)
■ 取付けフランジ φ253ICF  トップエントリー型 / サイドエントリー型
■ シャッター 手動  エア駆動 の何れかより選択

詳細な情報についてはこちらよりご相談ください。

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