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ER-1000

製品種別:コンポーネンツ  製品種別詳細:ラジカル源

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概要 放電室が大きく、しかも無電極であるため、長時間プラズマ放電を持続させても汚れが全くなく、安定したラジカルビームが供給できます。
ファイバースコープ/分光器を装備できますので、放電中の光強度スペクトルを常時CRT上で監視しつつ、ビーム量の調整操作を行なえます。
仕様 ■ ラジカルフラックス強度 10E15atoms/cm2・sec以上
■ RF出力 〜300W(標準タイプ) 〜500w(高出力タイプ)
■ イオントラッパー電圧 最大600V
■ マスフローコントローラー 10sccm (オプション)
■ 移動機構 ±60mm (オプション)
■ 取付けフランジ φ152ICF (標準)  φ70ICF / φ114ICF にも対応

詳細な情報についてはこちらよりご相談ください。

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