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EVR-500

製品種別:コンポーネンツ  製品種別詳細:Se用バルブドラジカルセル

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概要 Seのクラッキング効率が良く、少量の原料でも効率良く成膜が行えます。
仕様 ■ 最高温度 500℃
■ 容量 500cc〜2000cc
■ ヒーター シースヒーター及びカートリッジヒーター
■ ラジカルフラックス強度 1015atoms/cm2・sec以上
■ RF出力 100〜300W (連続可変)
■ PBNライナー付き
■ 耐ベーキング温度 200℃
■ 取付けフランジ φ203ICF
■ シャッター エア駆動
*当製品は国内販売に限ります。

詳細な情報についてはこちらよりご相談ください。

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