製品案内

MB-3000Si

製品種別:コンポーネンツ  製品種別詳細:Siセル

製品写真製品写真

概要 従来のセルでSiを蒸発させようとすると、最高加熱温度が1300℃であるためRATEが取れませんでしたが、Siセルは1600℃まで加熱できるため安定したRATEが得られます。
仕様 ■ 最高加熱温度 1600℃ (常用 1500℃)
■ ヒーター材質 グラファイト
■ ルツボ容量 5cc
■ 熱電対 WRe (5-26)
■ 取付けフランジ φ114ICF
■ シャッター エア駆動

詳細な情報についてはこちらよりご相談ください。

製品案内に戻る
 - AmigoDatabase