製品案内

MC-300i

製品種別:コンポーネンツ  製品種別詳細:イオン化セル

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概要 1. MBE装置の蒸着源として、Fe、Ga、Zn等種々の材料に使用できます。
2. 薄膜成長時にイオン化された原子のマイグレーション効果により低温成長ができます。
3. イオン化により薄膜の結晶性の向上が図られます。
仕様 <イオン化部>
1. 取付けフランジ: φ114ICF
2. ベーキング: 250℃ベーカブル対応
3. シャッター: エア駆動(イオン電流モニター付)
<Kセル部>
1. 取付けフランジ: φ70ICF
2. ルツボ容量: PBN 5cc
3. 加熱温度: 1300℃ MAX

詳細な情報についてはこちらよりご相談ください。

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