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ERI-2500

製品種別:特注装置  製品種別詳細:RIE

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概要 加工精度が高く、微細加工が可能なエッチング装置です。 
ロードロック室を標準装備しているため、エッチング室は大気に晒されることがなく、塩素系ガスを用いたエッチング時の再現性・均一性が良好です。
仕様 ■ スパッタチャンバー
1.到達圧力 5×10-6Pa
2.チャンバーサイズφ253×300H程度
3.基板寸法 2インチ
4.基板加熱温度 800℃MAX  ランプヒーター
5.排気系 TMP210L/sec  R.P162L/min
■ ロードロック室
6.到達圧力 10-4Pa
7.排気系 TMP60L/sec  R.P90L/min

詳細な情報についてはこちらよりご相談ください。

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