製品案内

ERC-200

製品種別:特注装置  製品種別詳細:ロールコーター

製品写真製品写真

概要 本システムは、ロールフィルムに多元のスパッタ源を用いて、多種の材料の薄膜が連続的に成膜できる装置です。
成膜時の温度は-30℃〜80℃まで可変できます。
酸化物・窒化物等の為に、可能な限りガス分離可能な構造を採用した装置です。
仕様 ■ ロール室
到達圧力 10-5Pa
ロール径 φ200mm (巻出し・巻取り部共通)
■ スパッタ室
到達圧力 10-5Pa
スパッタ源 ターゲットサイズ:250mm×80mm
成膜ロール部寸法 φ380×200
成膜ロール部温度 -30℃〜80℃

詳細な情報についてはこちらよりご相談ください。

製品案内に戻る
 - AmigoDatabase