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EO-6

製品種別:有機蒸着装置  製品種別詳細:有機蒸着装置

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概要 試料ステージは公転式を採用し、有機蒸着ステーション/金属ステーションでの蒸着により真空一貫での成膜ができます。
前面扉方式のチャンバーで、蒸着源材料の交換やメンテナンスが容易な構造です。
有機蒸着源及び金属蒸着源は防着板で完全に仕切られ、蒸着源での干渉がありません。
蒸着源はセルタイプ、抵抗加熱ボート等各種の選択が可能です。
各ステーション共に2元同時蒸着が可能です。
装置の拡張性に優れており、評価室/ロードロック室/グローブボックス増設等が可能です。
仕様 ■ 到達圧力 10-5Pa台
■ 基板サイズ 30×30mm
■ 基板加熱機構 ランプ加熱 Max300℃
■ 蒸着源 (オプション)
有機用 ・・・・・・ ミニセル、ボートセル、マイクロセル、バスケット等より選択
金属用 ・・・・・・ 横型セル、縦型セル、EBガン、スパッタ源等より選択
■ プローブ機構(オプション) 測定位置固定式/測定位置可動式

詳細な情報についてはこちらよりご相談ください。

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