製品種別:有機蒸着装置 製品種別詳細:有機薄膜作製装置 |
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概要 | 本装置は有機EL薄膜作成及び材料開発のための次の工程を、 真空を破らずに一貫して作業できる様設計された装置です。 有機材料の蒸着 マスクパターニング 素子評価機能 |
仕様 | ■ チャンバー 1.到達圧力 10-5Pa 2.チャンバーサイズφ400mm×400mm 3.基板寸法 30mm×30mm(Max) 4.基板装着枚数 5枚 5.マスクホルダー 有機用/メタル用 各2枚 6.排気系 TMP500L/sec R.P162L/min 写真2は EO-5を用いて作製した有機ELデバイスの特性 データ提供 京都大学国際融合創造センター 藤田研究室 |
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