製品案内

EO-5

製品種別:有機蒸着装置  製品種別詳細:有機薄膜作製装置

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概要 本装置は有機EL薄膜作成及び材料開発のための次の工程を、
真空を破らずに一貫して作業できる様設計された装置です。

有機材料の蒸着
マスクパターニング
素子評価機能
仕様 ■ チャンバー
1.到達圧力 10-5Pa
2.チャンバーサイズφ400mm×400mm
3.基板寸法 30mm×30mm(Max)
4.基板装着枚数 5枚
5.マスクホルダー 有機用/メタル用 各2枚
6.排気系 TMP500L/sec  R.P162L/min

写真2は
EO-5を用いて作製した有機ELデバイスの特性
データ提供
京都大学国際融合創造センター
藤田研究室

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