EO-5
| 製品種別：有機蒸着装置 製品種別詳細：有機薄膜作製装置 |
.GIF)  |
| 概要 | 本装置は有機EL薄膜作成及び材料開発のための次の工程を、 真空を破らずに一貫して作業できる様設計された装置です。 有機材料の蒸着 マスクパターニング 素子評価機能 |
| 仕様 | ■ チャンバー １．到達圧力 10-5Pa ２．チャンバーサイズφ400mm×400mm ３．基板寸法 30mm×30mm（Max） ４．基板装着枚数 5枚 ５．マスクホルダー 有機用/メタル用 各2枚 ６．排気系 TMP500L/sec R.P162L/min 写真２は EO-5を用いて作製した有機ELデバイスの特性 データ提供 京都大学国際融合創造センター 藤田研究室 |
 |
|
製品案内に戻る |
