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ES-830

製品種別:スパッタリング装置  製品種別詳細:スパッタ装置

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概要 本システムは、300mm×400mmの大面積用スパッタリング装置です。
8インチのスパッタ源による、3元のスパッタリングが可能です。
ターゲット、基板間の間隔は連続して可変調整できます。
仕様 ■ スパッタ室
到達圧力 : 10-5Pa台
基板寸法 : 300mm×400mm
基板温度 : Max 700℃
スパッタ源
ターゲット寸法 φ8インチ
ターゲット数 3基
排気系 TMP
成膜ソフト

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