製品案内

ES-460R

製品種別:スパッタリング装置  製品種別詳細:スパッタ装置

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概要 本システムは、100mm角の大型基板に対応しています。
複数のターゲットによる対向スパッタリングが可能です。
チャンバー上部フランジ開閉用の専用リフターが装備されています。
仕様 ■ スパッタ室
到達圧力: 1×10-6Pa以下
基板寸法: 100mm×100mm
基板温度: Max 300℃
スパッタ源 ターゲット寸法 φ6インチ
排気系 TMP
■ 処理室
到達圧力:1×10-5Pa以下
基板サイズ:100mm×100mm
基板温度:RT〜300℃
保護膜用イオン源
排気系 TMP

詳細な情報についてはこちらよりご相談ください。

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