製品案内

ES-610

製品種別:スパッタリング装置  製品種別詳細:スパッタ装置

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概要 6インチのスパッタ源を1元装着しており、大きなサイズの基板に最適です。
成膜ソフト(オプション)を付けることにより、更に作業の効率化を図ることが可能です。
仕様 ■ スパッタチャンバー
1.到達圧力 4×10-5Pa以下
2.チャンバーサイズφ406×600H
3.基板寸法 6インチ(冷却・回転機構付)
4.スパッタ源 6インチ
5.排気系 TMP500L/sec  R.P250L/min
■ オプション
6.成膜ソフト / 膜厚モニター

詳細な情報についてはこちらよりご相談ください。

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