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ES-360

製品種別:スパッタリング装置  製品種別詳細:スパッタ装置

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概要 基板の真下に対抗させたカソードにターゲットのみを自動着脱させることにより、最大で6元までの多層膜を基板に成長させることができます。
仕様 ■ スパッタチャンバー
1.到達圧力 1.5×10-5Pa
2.チャンバーサイズφ600×400H
3.基板寸法 2インチ
4.基板加熱温度 600℃ MAX  ランプヒーター
5.スパッタ源 3インチ
6.排気系 TMP500L/sec  R.P250L/min
■ ロードロック室
7.到達圧力 7.0×10-5Pa
8.排気系 TMP60L/sec  R.P90L/min
■ オプション
9.膜厚モニター  / ガス導入系 / 基板クリーニング機構

詳細な情報についてはこちらよりご相談ください。

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