製品案内

ES-310

製品種別:スパッタリング装置  製品種別詳細:スパッタ装置

製品写真製品写真

概要 3インチのスパッタ源を1元装着しており、電源ラックも架台収納式で、非常にコンパクトで使い易い設計です。
仕様 ■ 成膜室
1.到達圧力 2×10-5Pa以下
2.チャンバーサイズφ253×400H程度
3.基板寸法 2インチ(シャッター機構付)
4.スパッタ源 3インチ
5.排気系 TMP210L/sec  R.P162L/min

詳細な情報についてはこちらよりご相談ください。

製品案内に戻る
 - AmigoDatabase