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EB-350T

製品種別:EB蒸着装置  製品種別詳細:EB蒸着装置

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概要 本装置は、蒸着室、ロードロック室の2室で構成されています。
蒸発面に対して基板が±90°回転しますので、傾斜蒸着が可能です。
5連の電子銃蒸発源を装備しているにも拘らず、非常にコンパクトに設計されています。
設置スペースは、2m×2mですので、小スペースにも設置可能です。
仕様 ■ 蒸着チャンバー
1.到達圧力 10-7Pa台(ベーキング後)
2.チャンバーサイズ φ305ICF×L700
3.基板ホルダー
サイズ : 2インチ
基板加熱温度 : 最高 500℃
冷却機構付(LN2による冷却)
4.蒸発源
3kW5連型EBガンルツボ容量 : 2cc×5
5.膜厚モニター レート分解能: 0.1Å
6.排気系 TMP+RP
■ LLチャンバー
7.到達圧力 10-4Pa台
■ オプション
8.ベーキングシステム

詳細な情報についてはこちらよりご相談ください。

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